TFT-LCD显示屏ITO薄膜的特性是什么？

ITO薄膜的特性包括导电能力、光学特性、化学稳定性、热稳定性、表面形状、刻蚀性等。使用时还要考虑密着强度、膜硬度、膜厚、外观品质等因素。其中，化学稳定性包括耐湿性和耐碱性等，外观品质包括刮伤、污染、异物和穿孔等。

导电能力是ITO薄膜的重要品质要求，一般用方块电阻表示。ITO薄膜的方块电阻实际上并不会随着膜厚的增加而线性减小。

ITO薄膜的光学特性就是指光的再现性与透过率。ITO薄膜的光学特性主要与反射率和吸收系数有关。反射率视折射率和膜厚而定，吸收系数取决于载体密度、氧缺陷密度和中间 相的存在量等。ITO薄膜的成膜速度、溅射时冲击的大小、成膜的温度等工艺条件，均影响着ITO薄膜的光学特性。

ITO的带隙比较宽，因此ITO薄膜对可见光和近红外光具有很高的透过率。光透过ITO薄膜时，不同波长的光透过率是不一样的。光的再现性要求可见光尽可能地以同样的透过效率穿过ITO薄膜，避免可见光中各色（对应不同波长）所含比例的变化，保证透过ITO薄膜的光尽可能地接近自然光或来自背光源的光。

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